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?真空鍍膜冷水機(jī)是一種為真空鍍膜設(shè)備提供恒溫、恒流、恒壓冷卻水的設(shè)備，在真空鍍膜過(guò)程中起著關(guān)鍵作用。以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹：
工作原理
在冷水機(jī)的水箱中注入一定量的水，通過(guò)制冷系統(tǒng)對(duì)水進(jìn)行冷卻，再由水泵將低溫冷卻水送至待冷卻的真空鍍膜設(shè)備。冷凍水帶走設(shè)備產(chǎn)生的熱量后溫度升高，然后再流回水箱，如此循環(huán)往復(fù)，達(dá)到冷卻的效果。
核心功能
靶材冷卻：在物理氣相沉積（PVD）的濺射或蒸發(fā)過(guò)程中，靶材因高能離子轟擊會(huì)產(chǎn)生數(shù)百攝氏度的高溫，冷水機(jī)通過(guò)循環(huán)冷卻水快速帶走熱量，防止靶材變形或燒蝕，確保濺射速率穩(wěn)定。在化學(xué)氣相沉積（CVD）中，也可通過(guò)間接冷卻維持靶材溫度均勻，保障化學(xué)反應(yīng)的均勻性。
腔體與基板冷卻：鍍膜腔體在工藝過(guò)程中會(huì)因等離子體或高溫氣體產(chǎn)生熱量，冷水機(jī)通過(guò)腔體夾層水冷系統(tǒng)散熱，避免腔體熱膨脹導(dǎo)致密封失效。同時(shí)，基板在鍍膜時(shí)需保持低溫，如低于 50℃，冷水機(jī)通過(guò)冷卻基板臺(tái)防止材料熱變形，提升膜層附著力。
真空泵與電源冷卻：真空系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，真空泵如分子泵、擴(kuò)散泵會(huì)產(chǎn)生高溫，冷水機(jī)冷卻泵體和潤(rùn)滑油，維持真空度穩(wěn)定并延長(zhǎng)泵體壽命。對(duì)于大功率的電源模塊，如磁控電源、射頻電源，冷水機(jī)通過(guò)板式換熱器快速降溫，防止電源過(guò)熱停機(jī)。